南京南智先进光电集成技术研究院，位于国家级新区——南京江北新区核心区研创园，系南京大学“双一流”建设校地融合首批签约项目、南京市创建“具有全球影响力创新名城”重点建设新型研发机构。南京南智先进光电集成技术研究院南智光电公共技术平台是一个先进的和开放的微纳米技术研发支撑平台，集微米/纳米加工、制造和检测手段于一体，用于推动微纳米尺度的光电类基础研究及新产品研发，对社会提供开放共享的技术研发服务，对提高江北新区、南京市、乃至江苏省的光电类微纳产品的研发水平、开展相关技术交流、促进学科交叉、吸引高层次人才及相关企业入驻、加强企业间的合作交流都有着重要的作用。

现有的纳米加工和纳米表征洁净室面积超过3000平方米，按照实验洁净区和设备维护灰区分开，分别作为设备的操作和维护区域，使得实验环境更加的简洁。

洁净室千级区的温度波动范围可以维持在±0.5℃/h，百级区温度可维持在±0.3℃/h，电子束光刻区域为±0.1℃/h。微纳加工洁净室设备包含光刻、干法刻蚀、沉积、表征和其他常见微纳加工设备。微纳加工洁净室还包含一个用于用户的存储物品的房间。

具备的工艺能力：

微纳图形曝光

微纳图形刻蚀

微纳介质材料沉积

微纳金属沉积

微纳减薄抛光

微纳检测、封装

SEM检测

FIB检测